Teknologi.Bagian dari ensiklopedia.onlineCari/
BerandaOptik, instrumentasi & mediaECLIPSE-CHIPS: Plasma-Produced Materials to Investigate Laser-Produced Plasmas for Microelectronics Manufacturing
Proyek riset & pengembangan

ECLIPSE-CHIPS: Plasma-Produced Materials to Investigate Laser-Produced Plasmas for Microelectronics Manufacturing

Ringkasan tujuan riset

Aerosol nanopartikel tin yang dibentuk plasma akan diteliti sebagai target laser untuk sumber EUV lithography dengan emisi serta pemanfaatan material lebih baik.

Optik, instrumentasi & media1 rujukanProfil diperbarui
Lihat rujukanBandingkan proyek
Linimasa NSF 2512062Periode tercatat 2025-09-01 sampai 2028-08-31.NSF 2512062MulaiAkhir tercatat202520292025-09-012028-08-31
Linimasa dan catatan proyek

Tanggal dan TRL menurut catatan penerbit. Akhir periode dan target bukan bukti hasil riset.

Teknologi · CC BY 4.0 · Sumber data

Apa tujuan dan pendekatan risetnya?

Ukuran dan densitas aerosol divariasikan agar coupling laser-material dapat dibandingkan dengan droplet tin mikroskopik yang menyisakan fragmen. Optical emission serta mass spectroscopy memetakan hubungan plasma temperatur rendah dengan nukleasi, pertumbuhan, dan transport nanopartikel. Pengukuran EUV menguji kemurnian spektral serta intensitas. Riset berusaha mengurangi keterbatasan sumber dan kontaminasi optik, dengan peningkatan efisiensi energi yang masih perlu diukur.

Profil ini merangkum ruang lingkup proyek yang dipublikasikan National Science Foundation (NSF). Sumber diakses . Uraian pendekatan dan manfaat menyatakan tujuan pengembangan, kecuali sumber secara khusus melaporkan hasil.

Baca uraian penerbit

Konteks pengembangan

Institusi penerima pada catatan
University of California-Riverside
Program
AM-Advanced Manufacturing
Periode pendanaan tercatat
2025-09-01 → 2028-08-31

Proyek kolaboratif beberapa institusi diwakili oleh satu catatan penghargaan. Institusi di atas adalah penerima pada catatan tersebut.

Klasifikasi NSF

  • Directorate for Engineering
  • Civil, Mechanical, & Manufacturing Innovation

Label penerbit dipertahankan sebagai konteks. Bidang katalog merupakan pengelompokan editorial.

Apa yang diketahui tentang statusnya?

Status pendanaan menurut NSFAktif (catatan pendanaan NSF)

Catatan NSF tidak melaporkan tingkat kesiapan teknologi (TRL). Status pendanaan aktif atau berakhir bukan bukti keberhasilan riset.

Batas informasi

Profil merangkum tujuan dan pendekatan dalam abstrak pendanaan NSF. Status pendanaan tidak membuktikan keberhasilan riset, kesiapan teknologi, atau ketersediaan produk. Hasil dan performa belum diverifikasi secara independen; tinjauan ahli belum dilakukan.

Dasar profil

Metodologi dan batas pemeriksaan. Ringkasan berbahasa Indonesia disusun sebagai parafrasa editorial dengan pemeriksaan sumber primer oleh agen AI. Identitas, periode, serta status berasal dari catatan penerbit. Tinjauan ahli dan pengujian kinerja independen belum dilakukan; rujukan tidak menyiratkan dukungan atau sertifikasi NSF.